无篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，，，，Nit Stripper,，，，Pre-Clean，
，，B-Clean，，，Metal etching，，，
，Recycle
，
，Post CMP clean, EKC stripper，，，，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.